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2011-09-08 | 编辑: | 【

   

    上海福宜新能源科技有限公司,主要研究开发高效率低成本铜铟镓硒(CIGS)薄膜太阳能电池及相关核心设备。公司和中国科学院上海微系统与信息技术研究所新能源中心在嘉定中试基地建有联合实验室,拥有大型超高真空溅射流水线和高温硒化炉等多台套研究设备,实验室具备万级净化室近1000平方米。公司组建了由博士、硕士组成的近20人的技术团队,开发生产超高真空PVD, PECVD, ALD等薄膜沉积设备及核心配件,包括大型旋转阴极,高靶材利用率平面阴极,超高真空插板阀等。和北京泰岳恒分子泵研究所联合开发生产超高真空耐冲击分子泵。各种规格阴极、插板阀、分子泵已经可以批量供应,可以为客户定制产业和科研用真空镀膜设备。





 
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